TEMPERATURE STABILITY OF MATERIALS FOR COMPOSITE MICROWAVE ACOUSTIC RESONATORS AND SENSORS ON DIAMOND SUBSTRATES
نویسندگان
چکیده
В статье рассмотрено влияние отжига при высоких температурах вплоть до 650 °С на работоспособность композитных СВЧ акустических резонаторов алмазных подложках со структурами Al/ASN/Mo/(100) алмаз и Pt/ASN/Pt/(100) алмаз. Помимо оптических исследований использовали просвечивающую растровую микроскопию высокого разрешения, рентгеновский дифракционный анализ, а также изучали изменения функциональных свойств СВЧ, происходящие в результате последовательности отжигов. Исследована деградация Mo, Pt Al электродов, температурная стойкость пьезоэлектрической пленки нитрида алюминия-скандия (ASN). Показано, что пленка Mo алмазе заметно окисляется выше 400 °С, 500 улетучивается. Однако изолированный от воздействия кислорода воздуха пленкой ASN, сохраняет достаточную для работы композитного акустического резонатора проводимость 600 °С. электроды составе оказались наименее стойкими: происходит полная с образованием крупных каверн как случая алмазе, так покрытии ASN. последнем случае происходило локальное разрушение Нитрид оказался работоспособным даже без изменений выдерживал отжиг °С·1 ч. Применение качестве верхнего электрода пленке ASN токоведущих дорожек, напыленных алмаз, показало, резонатор основе структуры "Al/ASN/Mo/(100) алмаз" свои функциональные акустические электромеханические свойства
منابع مشابه
developing a pattern based on speech acts and language functions for developing materials for the course “ the study of islamic texts translation”
هدف پژوهش حاضر ارائه ی الگویی بر اساس کنش گفتار و کارکرد زبان برای تدوین مطالب درس "بررسی آثار ترجمه شده ی اسلامی" می باشد. در الگوی جدید، جهت تدوین مطالب بهتر و جذاب تر، بر خلاف کتاب-های موجود، از مدل های سطوح گفتارِ آستین (1962)، گروه بندی عملکردهای گفتارِ سرل (1976) و کارکرد زبانیِ هالیدی (1978) بهره جسته شده است. برای این منظور، 57 آیه ی شریفه، به صورت تصادفی از بخش-های مختلف قرآن انتخاب گردید...
15 صفحه اولModeling of Shielding Composite Materials and Structures for Microwave Frequencies
Composites containing conducting inclusions are required in many engineering applications, especially, for the design of microwave shielding enclosures to ensure electromagnetic compatibility and electromagnetic immunity. Herein, multilayer shielding structures are studied, with both absorbing and reflecting composite layers. In this paper, fiber-filled composites are considered. For modeling a...
متن کاملReview of Batteryless Wireless Sensors Using Additively Manufactured Microwave Resonators
The significant improvements observed in the field of bulk-production of printed microchip technologies in the past decade have allowed the fabrication of microchip printing on numerous materials including organic and flexible substrates. Printed sensors and electronics are of significant interest owing to the fast and low-cost fabrication techniques used in their fabrication. The increasing am...
متن کاملMicrostructural Characterisation and Wear Behaviour of Diamond Composite Materials
Since the initial research leading to the production of diamond composite materials, there have been several important developments leading to significant improvements in the properties of these superhard composite materials. Apart from the fact that diamonds, whether originating from natural resources or synthesised commercially, are the hardest and most wear-resistant materials commonly avail...
متن کاملCylindrical Microwave Resonator Sensors for Measuring Materials under Flow
Dissertation for the degree of Doctor of Science in Technology to be presented with due permission for public examination and debate in Auditorium S4 at the Helsinki University of Technology (Espoo, Finland) on the 26 th of May, 2000, at 12 o'clock noon. I wish to express my gratitude to Hans-Olav Hide, Arnstein Wee, and my other colleagues at Multi-Fluid/Roxar, who gave me the opportunity to w...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Izvestiâ vysših u?ebnyh zavedenij
سال: 2023
ISSN: ['2072-3040']
DOI: https://doi.org/10.6060/ivkkt.20236610.8y